TO | 有源区,Active Area,也常记作AA | 晶体管源/漏/导电沟道覆盖的区域 | 所有MOS管、二极管绘制基础 |
TB | N阱 | 完全包裹PMOS器件的有源区(TO),也常写作NW | 设计CMOS电路时划分阱区 |
NX | N型注入 | NMOS源漏掺杂,离子注入在硅片中形成N型掺杂区 | 标准数字单元(反相器等) |
PX | P型注入 | PMOS源漏掺杂,离子注入形成P型重掺杂区 | 模拟电路(运放差分对) |
GT | 多晶硅栅 | GATE,晶体管栅极,也常记作poly(多晶硅) | 栅极绘制与电阻制作 |
SN | N+选择层 | N+ Select Layer,是控制N型掺杂区域选择性注入的关键掩膜层,配合NX层精确定位掺杂区,激活则为Nwell注入,屏蔽则为P+区域 | 高压器件/LDMOS |
SP | P+选择层 | P+ Select Laye,是控制P型重掺杂区域选择性注入的关键掩膜层,配合PX层精确定位掺杂区 | 阱接触(Well Tap) |
MET1 | 金属1 | 基础互连层 | 90%的局部走线 |
CT | 接触孔 | Contact Layer,连接有源区与金属1 | 器件电极引出 |
VIA | 通孔 | Via Layer,层间金属连接 | MET1→MET2跳线 |
DUMMY | 填充层 | 解决图形密度不均匀导致的化学机械抛光(CMP)碟形效应和刻蚀负载效应,保证制造均匀性 | 大块空白区域密度补偿 |