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版图设计学习2_掌握PDK中的层定义(工艺文档精读)

1. General layer information(基本层信息)

1.1 layer information,层信息

No.Mask IDDrawn layerDrawn No.Digitized ToneDrawn or GeneratedDescription
掩膜IDEDA中的名称GDSII文件中的数字编码掩膜板透光性:Dark=阻光(保留),Clear=透光(刻蚀区域)Drawn=手动绘制,Generated=工具自动生成层的功能说明
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1TOTO1DarkDrawnActive area

模拟IC设计核心层分类(高频→中频)

层标识类型描述模拟设计典型应用
TO有源区,Active Area,也常记作AA晶体管源/漏/导电沟道覆盖的区域所有MOS管、二极管绘制基础
TBN阱完全包裹PMOS器件的有源区(TO),也常写作NW设计CMOS电路时划分阱区
NXN型注入NMOS源漏掺杂,离子注入在硅片中形成N型掺杂区标准数字单元(反相器等)
PXP型注入PMOS源漏掺杂,离子注入形成P型重掺杂区模拟电路(运放差分对)
GT多晶硅栅GATE,晶体管栅极,也常记作poly(多晶硅)栅极绘制与电阻制作
SN​N+选择层N+ Select Layer,​是控制N型掺杂区域选择性注入的关键掩膜层,配合NX层精确定位掺杂区,激活则为Nwell注入,屏蔽则为P+区域高压器件/LDMOS
​​SP​P+选择层P+ Select Laye,​是控制P型重掺杂区域选择性注入的关键掩膜层,配合PX层精确定位掺杂区阱接触(Well Tap)
​​MET1金属1基础互连层90%的局部走线
​​CT​接触孔Contact Layer,连接有源区与金属1器件电极引出
​​VIA​​通孔Via Layer,层间金属连接MET1→MET2跳线
​​​​DUMMY​​​填充层解决图形密度不均匀导致的化学机械抛光(CMP)碟形效应和刻蚀负载效应,保证制造均匀性大块空白区域密度补偿
http://www.lryc.cn/news/619740.html

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